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快速熱處理設(shè)備通過(guò)特殊的溫度控制算法和業(yè)界驗(yàn)證的晶圓自轉(zhuǎn)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)晶圓面內(nèi)的精確溫度控制和顆?？刂?；其升降溫快速、熱預(yù)算控制精確等特點(diǎn)，應(yīng)用于離子注入后的晶格修復(fù)與雜質(zhì)激活，STI、Gate Oxide之后的修復(fù)與致密化，以及在接觸孔工藝中歐姆接觸的形成。
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