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應(yīng)用：
◆半導(dǎo)體、研究所等需要用到晶圓分揀的單位。
技術(shù)參數(shù)：
Genmark 公司的Sort-Max是一種快速、穩(wěn)定、潔凈的晶圓分揀器。Sort-Max可以適用于100mm~300mm的晶圓或光罩。它的功能包括分揀、檢查、lot分離、儲(chǔ)存、合并、ID掃描和FOUP平衡等。
主要特點(diǎn)：
◆快速、穩(wěn)定、潔凈；
◆可定制化；
◆吞吐量高；
◆自我調(diào)節(jié)。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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