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M82 750B 6K氣相沉積設(shè)備
M82 750B 6K氣相沉積設(shè)備

參考價格

面議

型號

M82 750B 6K

品牌

順心谷

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
上海順心谷半導(dǎo)體科技有限公司

高級會員

|

第1年

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技術(shù)參數(shù)

項目數(shù)據(jù)
設(shè)備型號M82 750B 6K
操作系統(tǒng)SXG-MPCVD控制系統(tǒng)
微波頻率2450MHz,輸出功率：6KW
反應(yīng)腔承載功率≦10KW
生長臺Φ2英寸
工作壓力10-200Torr
標(biāo)準(zhǔn)氣路5路/6路（可定制）
測溫系統(tǒng)紅外測溫，測溫范圍300～1400℃
系統(tǒng)真空密封性（氦質(zhì)譜撿漏）<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵17.1 m3/H
設(shè)備尺寸1500MM（長）*800MM（深）*1980MM（高）
設(shè)備重量490KG


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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