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M82 730 6K氣相沉積設備
M82 730 6K氣相沉積設備

參考價格

面議

型號

M82 730 6K

品牌

順心谷

產地

上海

樣本

暫無
上海順心谷半導體科技有限公司

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技術參數

項目數據
設備型號M82 730 6K
操作系統(tǒng)SXG-MPCVD控制系統(tǒng)
微波頻率2450MHz,輸出功率:6KW
反應腔承載功率≦10KW
生長臺Φ2英寸
工作壓力10-200Torr
標準氣路5路/6路(可定制)
測溫系統(tǒng)紅外測溫,測溫范圍300~1400℃
系統(tǒng)真空密封性(氦質譜撿漏)<1×10-9 Torr.l/sec
真空泵17.1 m3/H
設備尺寸主機:1500MM(長)*700MM(深)*1880MM(高)
電控柜:545MM(長)*765MM(深)*1740MM(高)
設備重量主機:375KG;電控柜:185KG

  公司位于上海青浦區(qū),具備一流的潔凈生產車間和生產測試設備。我們有深厚的技術積累,核心團隊由德國歸國博士主導,研發(fā)團隊由業(yè)內尖端技術人員組成,與國內外多所大學及研發(fā)機構建立了長期戰(zhàn)略合作關系;我公司研發(fā)團隊與德國FM集團聯合攻關,以項目分工合作方式,在微波輸出功率不同(6KW及10KW)的情景下,以高科技的數字化手段模擬微波場的不同分布,實現定制適配器與真空腔體**結構的**結合,使得我們的新一代MPCVD設備性能更加優(yōu)異;經過持續(xù)的技術研發(fā),我們已在MPCVD行業(yè)技術領域具備一定知名度。我們立志**國內MPCVD行業(yè),為所有合作方提供全方位的智能解決方案,并提供全面、專業(yè)的售后服務支持。

公司堅持“設備+工藝”的雙優(yōu)發(fā)展方針,以設備優(yōu)化工藝,以工藝反驅設備,形成產業(yè)鏈的閉環(huán)發(fā)展和雙向優(yōu)化。

目前已研發(fā)出微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng),用于生產高等級和高純凈度的單晶合成金剛石;產品應用行業(yè)還可以跨越航空航天、半導體器件、光學、散熱器件、量子計算機、珠寶首飾等各個領域;我公司同時也從事微波等離子體技術的應用和開發(fā),并致力于微波等離子體技術的成果轉化和產業(yè)化。

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10分

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