看了高剛性單軸減薄機的用戶又看了
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產品優(yōu)勢:
(1)獨特的雙軸支撐結構,降低了磨削單元間的振動和變形的相互干擾,有效提升設備的穩(wěn)定性和加工質量的一致性
(2)多參數傳感器測量系統(tǒng),實時采集傳輸并分析處理設備運轉參數,增強設備故障預測性維護
(3)全流程自動化加工系統(tǒng),實現多裝置的高度集成,多功能兼容,降低人工干預,提升加工效率與安全性
產品特點:
(1)結構緊湊,輕量化設計
(2)優(yōu)異的結構剛性
(3)靈活配置,廣泛應用性
(4)軟件定制化,人性化操作界面
(5)持久耐用,安全無憂
項目 | 技術參數 |
型號 | CMG200 |
加工材料 | SiC, Si, GaN等硬脆材料 |
加工晶圓尺寸 | 4/6/8英寸 |
砂輪直徑 | 313mm |
可加工**厚度 | 60mm |
磨削主軸轉速 | 6000rpm |
磨削主軸功率 | 13KW |
片內厚度偏差TTV | 1.5μm |
表面粗糙度Ra | 3nm |
自動裝夾裝置 | 可選配 |
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