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• 適配高硬脆/高價(jià)值等多種材料加工

  既能對(duì)陶瓷基板、晶圓、薄片合金等薄脆材料進(jìn)行超精密加工，也可適配碳化硅、氮化硼、碳纖維、金剛石等厚硬材料，且切割深寬比可達(dá)30:1以上。

• 加工面光滑無(wú)毛刺，無(wú)需后續(xù)打磨拋光

  借助高精度射流角度自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)，并配合±0.2MPa的精密水流壓力控制，保障切割面平整度。

• **限度降低高價(jià)值材料的損耗

  *小切割縫隙為25μm，有效減少材料浪費(fèi)。

• 守護(hù)材料原有特性

  穩(wěn)定的水流可實(shí)時(shí)為材料散熱，材料熱影響區(qū)≤5μm。

• 避免材料交叉污染

  采用非接觸式加工方式，無(wú)機(jī)械應(yīng)力產(chǎn)生，能有效規(guī)避因直接接觸導(dǎo)致的材料磨損與交叉污染問(wèn)題。

• 更具環(huán)保安全性

  加工過(guò)程中不產(chǎn)生粉塵及有害氣體，同時(shí)水流可直接沖走碎屑，確保工作區(qū)域始終保持清潔。

合規(guī)性保障

CE認(rèn)證，且滿足SEMI S2安全規(guī)范要求。

切割面展示

• 碳基金剛石

• 銅基金剛石

• 氮化硼

• 氧化鋁陶瓷

技術(shù)原理

激光傳導(dǎo)信號(hào)原理:

當(dāng)聚焦至微細(xì)水射流內(nèi)部的激光傳輸至水-氣邊界時(shí)，入射角小于全反射臨界角的激光能量皆發(fā)生全內(nèi)反射傳輸現(xiàn)象。

基于上述特性，通過(guò)精準(zhǔn)調(diào)控聚焦光斑尺寸和入射角，可使激光能量精準(zhǔn)、穩(wěn)定的沿著水射流向前傳輸，達(dá)到材料表面實(shí)現(xiàn)高質(zhì)高效加工。