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Wafer XRD用于全自動(dòng)晶圓揀選、生產(chǎn)和質(zhì)量控制
特點(diǎn)
適用于3到8寸晶圓。也可根據(jù)要求提供其他尺寸
FOUP、載具或單個(gè)晶圓臺(tái)
跨槽晶圓識(shí)別為可選功能
易于集成到任何工藝生產(chǎn)線中
測(cè)量速度:每個(gè)樣品<10秒
典型標(biāo)準(zhǔn)偏差(傾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
銅靶微焦點(diǎn)風(fēng)冷X射線光管(**30W)或細(xì)焦點(diǎn)水冷X射線光管(**1.5kW)
完全符合CE標(biāo)準(zhǔn)的安全控制裝置
通過3色燈塔指示狀
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、藍(lán)寶石(Al?O?)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可選插件
電阻率測(cè)量范圍:0.01至0.020Ωcm
自動(dòng)識(shí)別晶圓數(shù)據(jù)矩陣碼、二維碼、條形碼或類似代碼
未拋光晶圓和鏡面的距離測(cè)量
年產(chǎn)1,000,000片晶圓
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
隨著動(dòng)力電池和新能源汽車的需求爆發(fā),鋰電正極材料也正在快速迭代,其中三元材料逐漸成為動(dòng)力電池的主流選擇。目前三元材料中的鎳鈷錳成分分析多采用ICP分析方法,化學(xué)分析過程相對(duì)復(fù)雜、分析時(shí)間長(zhǎng)、梯度稀釋誤
2021-08-06
收獲更多價(jià)值 創(chuàng)造更多可能給您更多選擇我們的理由全球頂尖的學(xué)者、科學(xué)家與研究人員始終信賴我們?yōu)楦餍懈鳂I(yè)提供的化學(xué)、物理和結(jié)構(gòu)分析解決方案。依托行業(yè)領(lǐng)軍品牌 Malvern Panalytical、Mi
會(huì)期:2025年10月17-20日(17日?qǐng)?bào)到)地點(diǎn):廣西桂林·桂林大公館主辦:中國(guó)晶體學(xué)會(huì)承辦:桂林理工大學(xué)10月17-20日,馬爾文帕納科即將參加于廣西桂林舉行的中國(guó)晶體學(xué)會(huì)第10屆學(xué)術(shù)年會(huì)暨第八
新聞導(dǎo)讀:2025年9月10-11 日,由馬爾文帕納科(Malvern Panalytical)/麥克默瑞提克(Micromeritics)攜手山東聯(lián)科科技股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱 “聯(lián)科科技”)、青島
Nature封面文章2025年7月9日,中國(guó)科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所、中國(guó)科學(xué)院國(guó)家天文臺(tái)與中國(guó)地質(zhì)大學(xué)等科研團(tuán)隊(duì),利用嫦娥六號(hào)采回的月球背面樣品取得的四項(xiàng)研究成果以封面文章形式發(fā)表于國(guó)際學(xué)術(shù)期刊《
本文摘要高致密性粉末要滿足增材制造等新型應(yīng)用中的嚴(yán)格技術(shù)規(guī)范要求,其中重要的一點(diǎn)就是驗(yàn)證金屬粉末的粒度分布。這項(xiàng)工作可采用多種不同的分析技術(shù),其中激光衍射法因操作便捷、分析快速而被廣泛采用?。本文就將
本文摘要眾所周知,巧克力在味覺中占有特殊的地位,很大程度上它的魅力在于其獨(dú)特的口感。而綿密的口感取決于巧克力中脂肪相的成分以及懸浮在脂肪中的可可、牛奶和糖顆粒的大小。本文中我們將通過激光衍射測(cè)量不同巧