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產(chǎn)品分類
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
技術(shù)特點(diǎn)：
● 可切割碳化硅晶圓，通過參數(shù)設(shè)置可實(shí)現(xiàn)多次切割，支持**工件尺寸 200mmx200mm；
● 搭配高精度主軸，滿足更高切割品質(zhì)的要求；龍門式結(jié)構(gòu)，剛性高，穩(wěn)定性好；標(biāo)配 Sub-CT 輔助磨刀功能，可實(shí)現(xiàn)切割過程中自動(dòng)磨刀，**程度保證切割質(zhì)量。
性能指標(biāo)：
| 主軸 | 功率 | KW | 1.8 | |
| 轉(zhuǎn)速范圍 | rpm | 6000-60000 | ||
| X軸 | 有效行程 | mm | 300 | |
| 速度范圍 | mm/s | 0.1-600 | ||
| 分辨率 | mm | 0.001 | ||
| Y軸 | 有效行程 | mm | 300 | |
| 分辨率 | mm | 0.0001 | ||
| 步進(jìn)精度 | mm | 0.002/5 | ||
| 全程累積誤差 | mm | 0.003/300 | ||
| Z軸 | 有效行程 | mm | 30(使用μ58切割刀片時(shí)) | |
| 重復(fù)精度 | mm | 0.001 | ||
| 支持**刀具直徑 | mm | 58 | ||
| D軸 | **轉(zhuǎn)角 | deg | 380°士5° | |
| 重復(fù)精度 | arc-sec | 1″ | ||
| 顯微鏡 | 鏡頭倍數(shù) | - | 15x(可選) | |
| 光源配置 | - | 環(huán)光?直光 | ||
| 光源配置 | - | 環(huán)光?直光 | ||
| 工件 | 圓形工件尺寸 | mm | μ8及以下 | |
| 方形工件尺寸 | mm | 200mmx200（無Sub-CT) 200mmx200 ( Sub-CT) | ||
| 其它 | 設(shè)備外形 | mm | 1085×1040×1805 | |
| 重量 | kg | 1200 | ||
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