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本設(shè)備是鈣鈦礦液涂布-真空-老化一體化設(shè)備。采用直線電機(jī)驅(qū)動載臺運(yùn)動，狹縫式涂布系統(tǒng)上下運(yùn)動，在載臺上的ITO/FTO導(dǎo)電玻璃平板上在一定距離進(jìn)行精密涂布成形，在涂布后進(jìn)入真空腔進(jìn)行快速真空干燥成形鈣鈦礦膜片。
技術(shù)要求和參數(shù)：
1.1 適用基板尺寸：**可放置300mm×300mm的基材，帶真空吸附載臺；
1.2 基板類型：ITO/FTO導(dǎo)電玻璃平板；
2.1.1 涂布：日本制高精密產(chǎn)品用不銹鋼涂布頭；
2.1.2 **涂布面積300×300mm；
2.1.3 涂頭高度可設(shè)定范圍 0-50mm；
2.1.4 Z軸分辨率：0.0001mm；Y軸分辨率：0.001mm
2.1.7 采用無接觸檢測方式，涂頭與平臺平面的平行度使用千分頭設(shè)置調(diào)整。（可選配電機(jī)調(diào)整方式）
2.1.8 涂頭墊片厚度：0.05\0.08\0.1mm(可以定制)
2.2.1 供液泵：精密微量泵；
2.3.1帶有預(yù)涂、涂頭封合及余液收集功能；
平臺材料：精密大理石平臺；
傳輸裝置：Y 軸和Z 軸的自動控制和定位，重復(fù)精度≤2μm；
平臺運(yùn)動方式：采用無接觸的直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動，無摩擦，穩(wěn)定性好。
載臺采用特種合金材料或大理石；平整度：≤5μm；
玻璃基板固定方式：真空吸附；
配有涂后真空干燥腔。
配有涂后老化加熱功能
機(jī)體結(jié)構(gòu)采用封閉腔體，可隔離揮發(fā)氣體和控制環(huán)境
操作系統(tǒng)采用工業(yè)控制系統(tǒng)控制；可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集和統(tǒng)計功能。
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