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Nano Energy:澤攸科技STM-TEM原位樣品桿在新一代半導體器件研發(fā)中的應用

Nano Energy:澤攸科技STM-TEM原位樣品桿在新一代半導體器件研發(fā)中的應用
澤攸科技  2025-04-02  |  閱讀:234

本期帶來的是一篇PicoFemto原位樣品桿在新一代半導體器件研發(fā)中的應用,場效應晶體管在半導體行業(yè)有著廣泛的應用。其中,由壓電材料(氧化鋅等)作為門控的場效應管在近年獲得了廣泛關注。本文利用STM-TEM原位樣品桿搭載單根氧化鋅納米線,并在TEM中原位操縱、測量和觀測。研究表明,當我們使用STM探針對氧化鋅納米線施加2.63%的應力后,該材料的電導率會驟降2個數(shù)量級。結合TEM的觀測結果我們發(fā)現(xiàn),這種電導率的變化與接觸點處肖克力勢壘無關,而是源自氧化鋅納米線橫向壓電潛能帶來的載流子損耗。相關研究由日本NIMS、中科院物理所和量子物質合作創(chuàng)新中心共同完成,成果發(fā)表在《Nano Energy》上(Nano Energy (2015)13, 233-239)。

   澤攸科技的PicoFemto原位樣品桿在該研究中穩(wěn)定而精確地實現(xiàn)了搭載樣品、電學測量以及施加應力的任務。

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   氧化鋅納米線一端被固定在金針上,另一端通過鎢針對其施加應力。

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    理論模型對實驗結果的支持

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   應用器件模型


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