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?在探索微觀世界的征程中，無論是觀察還是“雕刻”，我們始終面臨著一個根本性的物理限制——衍射極限。這個源于波的衍射天性的限制，如同一個無形的屏障，決定了我們能看清多小的物體，能加工多精細的結構。然而科學的魅力恰在于不斷挑戰(zhàn)并突破極限，本文將從物理直覺出發(fā)，深入淺出地探討衍射極限的本質，比較光學與電子束

?研究背景在“雙碳”目標與新一代信息技術自主可控的國家戰(zhàn)略驅動下，高功率、高頻率電子器件對超寬禁帶半導體材料提出迫切需求。金剛石憑借超高擊穿場強（5–10 MV/cm）、優(yōu)異熱導率（~2000 W/m·K）和高載流子遷移率，被視為下一代高功率電子器件的理想候選材料，其發(fā)展已被納入多個國家重點研發(fā)計劃和

?在科學探索的征途上，人類對微觀世界的渴望從未停止。從列文虎克用自制顯微鏡首次窺見微生物，到今天我們能夠清晰地觀察原子排列，顯微技術的每一次飛躍都極大地拓寬了我們認知邊界。然而當探索的尺度進入納米級別時，傳統(tǒng)的光學顯微鏡便遇到了其物理極限——阿貝衍射極限。為了突破這道“光的屏障”，科學家將目光投向了比

?研究背景在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)和大數(shù)據(jù)等技術飛速發(fā)展的時代背景下，全球對更高性能計算硬件的需求日益迫切，研發(fā)速度更快、尺寸更小、能耗更低的下一代信息存儲與處理技術已成為關鍵的國家級戰(zhàn)略需求。然而傳統(tǒng)的半導體存儲器件正逼近其物理極限，在提升存儲密度、降低能耗和加快讀寫速度方面遭遇了難以逾越的瓶頸。這催生了

?在微納工程領域，從一個基于CAD的數(shù)字設計到一個功能化的物理器件，其間的鴻溝由一系列精密的制造工藝來填補，其中光刻無疑是定義器件幾何形態(tài)的基石。對于那些深耕于電子顯微鏡及原位測量系統(tǒng)領域、擁有數(shù)十年技術積淀的企業(yè)而言，其能力邊界的拓展往往遵循著一條清晰的物理學脈絡——從“觀察”微觀世界，到“改造”微

?量子芯片是量子計算機的 “大腦”，其核心地位堪比傳統(tǒng)計算機的中央處理器（CPU）。但與傳統(tǒng)芯片依靠 “0”“1” 經(jīng)典比特運算不同，量子芯片通過 “量子比特（Qubit）” 的量子力學特性實現(xiàn)計算 —— 這一特性的實現(xiàn)，離不開電子束光刻技術的精準支撐。本文將從量子比特的本質出發(fā)，解析其與電子束光刻的