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澤攸科技ZML10A是一款創(chuàng)新的桌面級無掩膜光刻設(shè)備，專為高效、精準(zhǔn)的微納加工需求設(shè)計(jì)。該設(shè)備采用高功率、高均勻度的LED光源，并結(jié)合先進(jìn)的DLP技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了黃光或綠光引導(dǎo)曝光功能，真正做到“所見即所得”，極大提升了操作便捷性和工藝可控性。其獨(dú)特的光路結(jié)構(gòu)和高精度直線電機(jī)位移臺確保了**的曝光精度和重復(fù)定位能力，同時(shí)配備CCD相機(jī)逐場自動(dòng)對焦系統(tǒng)，進(jìn)一步優(yōu)化了成像質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性。設(shè)備支持電動(dòng)物鏡切換和激光主動(dòng)對焦功能，能夠靈活應(yīng)對不同應(yīng)用場景的需求。其緊湊的桌面小型化設(shè)計(jì)不僅節(jié)省空間，還便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)環(huán)境中部署。此外，ZML10A配備了直觀易用的軟件界面，大幅降低了操作門檻，即使是初學(xué)者也能快速上手。無論是超材料結(jié)構(gòu)、電極圖案還是微流控芯片等復(fù)雜微納結(jié)構(gòu)的制備，ZML10A都能提供可靠的支持，是科研工作者和工業(yè)用戶的理想選擇。

技術(shù)特點(diǎn)

▲ 桌面小型化

▲ 高功率、高均勻度LED刻寫光源

▲ 綠光引導(dǎo)曝光，所見即所得

▲ CCD相機(jī)逐場圖像自動(dòng)對焦

▲ 高精度直線電機(jī)位移臺

▲ 用戶友好，易于操作的軟件界面

光路遠(yuǎn)離結(jié)構(gòu)圖

主要指標(biāo)

應(yīng)用案例