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ZEM18作為澤攸科技自主研發(fā)的高分辨臺(tái)式掃描電子顯微鏡，在半導(dǎo)體領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。典型案例如下:

【晶圓缺陷檢測(cè)】

利用ZEM18電鏡直接成像觀察晶圓表面，可以清晰展現(xiàn)出微小劃痕、顆粒污染等各類缺陷情況。根據(jù)圖像結(jié)果判斷缺陷源頭，以優(yōu)化制程，提高生產(chǎn)良率。

【光刻工藝檢測(cè)】

使用ZEM18電鏡可以在微米量級(jí)直接刻畫光刻膠層的側(cè)壁形貌及斷口形態(tài)。幫助評(píng)估光刻質(zhì)量與曝光量效應(yīng)，優(yōu)化曝光量設(shè)置。

【金屬互連觀測(cè)】

ZEM18高倍成像可以清晰展現(xiàn)芯片互連結(jié)構(gòu)中的空隙缺陷、線邊斷裂情況，有助于電參數(shù)測(cè)試結(jié)果的對(duì)應(yīng)分析，確定良率故障原因。

【電子器件表面檢測(cè)】

采用ZEM18對(duì)封裝好的IC芯片進(jìn)行表面掃描，可以顯示器件表面橡膠密封層與引線的外觀質(zhì)量，并對(duì)故障類型進(jìn)行分類。

ZEM18高分辨掃描電鏡憑借出色的成像能力，使半導(dǎo)體制程中的微區(qū)結(jié)構(gòu)與缺陷檢測(cè)變得更加輕松，可靠地保證產(chǎn)品質(zhì)量。

焊點(diǎn)檢測(cè)

晶圓雜質(zhì)

器件

微納加工檢測(cè)

氧化硅

LCD 增量膜

安徽澤攸科技有限公司是一家具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的科學(xué)儀器公司， 自20世紀(jì)90年代開始投入電鏡及相關(guān)附件研發(fā)以來(lái)，研發(fā)團(tuán)隊(duì)一直致力于為納米科學(xué)研究提供優(yōu)秀的儀器。目前，公司有包括PicoFemto系列原位TEM測(cè)量系統(tǒng)、原位SEM測(cè)量系統(tǒng)、ZEM系列臺(tái)式掃描電鏡、JS系列臺(tái)階儀、納米位移臺(tái)、二維材料轉(zhuǎn)移臺(tái)、探針臺(tái)及低溫系統(tǒng)、光柵尺等在內(nèi)的多個(gè)產(chǎn)品線，在國(guó)內(nèi)外均獲得了高度關(guān)注，填補(bǔ)了國(guó)家在科學(xué)精密儀器領(lǐng)域的諸多空白。