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【半導(dǎo)體原位表征】最新《Nature Materials》:電場控制晶體中位錯運(yùn)動

【半導(dǎo)體原位表征】最新《Nature Materials》:電場控制晶體中位錯運(yùn)動
澤攸科技  2025/07/03  |  閱讀:51
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 近期,加拿大多倫多大學(xué)Yu Zou課題組與北京大學(xué)高鵬課題組、美國愛荷華州立大學(xué)Qi An課題組、加拿大達(dá)爾豪斯大學(xué)Penghao Xiao課題組合作,報道了利用電場控制位錯運(yùn)動,他們通過原位和原子尺度電鏡表征結(jié)合理論計算揭示了電場控制位錯運(yùn)動的機(jī)制。該研究成果以“利用電場控制位錯移動”(Harnessing dislocation motion using an electric field)為題,于6月19日發(fā)表在《自然-材料》(Nature Materials)。文章第一作者為多倫多大學(xué)博士生Mingqiang Li , 第二作者和第三作者分別是愛荷華州立大學(xué)博士生Yidi Shen和博士后Kun Luo。

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 位錯是晶體中常見的線缺陷,對晶體材料的諸如力學(xué)、電學(xué)、光學(xué)等物理化學(xué)性質(zhì)有著重要的影響。自從20世紀(jì)30年代位錯理論建立以來,控制位錯運(yùn)動一直是材料科學(xué)研究的主題之一。通常認(rèn)為位錯移動需要應(yīng)力來驅(qū)動,以往理論和實驗都對應(yīng)力加載下的位錯動力行為進(jìn)行了廣泛和深入的研究。盡管也有研究發(fā)現(xiàn)溫度、電場甚至光等是可以影響應(yīng)力加載下的位錯移動,但是通常認(rèn)為應(yīng)力仍然是驅(qū)動位錯移動的關(guān)鍵因素,這在一定程度上也限制了晶體材料的加工和應(yīng)用潛力。由于應(yīng)力驅(qū)動的位錯移動是經(jīng)典位錯理論的基石之一,因此很少期望僅僅通過一個非應(yīng)力場來控制位錯移動。

 雖然非應(yīng)力場下的位錯移動受到的關(guān)注較少,但是仍然有一些探索。較早的研究可以追溯到20世紀(jì)60年代,研究者發(fā)現(xiàn)將離子晶體,比如MgO,NaCl等,放在一個高電場下之后,通過重復(fù)刻蝕的方法可以觀察到晶體表面刻蝕坑的變化,而刻蝕坑通常是由位錯引起,因此這些早期結(jié)果表明位錯和電場之間可能存在相互作用。另外,在透射電子顯微鏡中高能電子束(比如~200 keV)的輻照下,研究人員也曾觀察到位錯偶爾會發(fā)生移動,但是這種運(yùn)動通常比較隨機(jī)而且難以控制??傊?,可控的位錯移動仍然是一個挑戰(zhàn),由于缺少直觀的實驗證據(jù),位錯在非應(yīng)力場下動力學(xué)行為也一直不清楚。

 近些年來原位電鏡技術(shù)快速發(fā)展,使得直接觀測微觀結(jié)構(gòu)在各種外場激勵下的運(yùn)動行為成為可能。比如利用各種原位TEM測試技術(shù),可以借助TEM的高空間分辨率,直接觀察到晶體微觀結(jié)構(gòu),同時對樣品施加電場或者應(yīng)力等外場,觀察微觀結(jié)構(gòu)對外場的響應(yīng)。

 近期,高鵬課題組與加拿大多倫多大學(xué)Yu Zou教授、美國愛荷華州立大學(xué)Qi An教授、加拿大達(dá)爾豪斯大學(xué)Penghao Xiao教授的課題組合作,利用安徽澤攸科技有限公司生產(chǎn)的原位電學(xué)TEM測量系統(tǒng),并結(jié)合密度泛函理論計算,研究了晶體中位錯在電場下的演化行為,實現(xiàn)了僅僅電場控制的位錯運(yùn)動。他們以半導(dǎo)體材料ZnS為例,圖1展示了ZnS中電場驅(qū)動的位錯運(yùn)動。通過控制電場的大小和方向,就可以操控位錯線的來回移動。比如當(dāng)加載電壓為正時,位錯線向右側(cè)運(yùn)動。當(dāng)加載電壓為負(fù)時,位錯線向左側(cè)運(yùn)動。這個結(jié)果為電場控制的位錯移動提供了直接的實驗證據(jù)。

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圖1. 電場驅(qū)動單個位錯移動。(a)實驗裝置示意圖,通過金屬針尖對樣品加載電壓。(b)位錯線的初始位置。(c)加載電壓達(dá)到正102 V時,位錯線運(yùn)動到右側(cè)位置。(d)加載電壓達(dá)到負(fù)90 V時,位錯線運(yùn)動到左側(cè)位置。

他們也對比了電場下不同位錯類型的移動性。如圖2所示,他們首先找到了30° 部分位錯(位錯B和D)和90° 部分位錯(位錯A,C和E)交替排列的區(qū)域。在外加電場下,30° 部分位錯依賴電場方向來回移動,但是90° 部分位錯在整個過程中沒有移動。這個結(jié)果說明30° 部分位錯在電場下的移動性比90° 部分位錯更高。而且可以直接觀察到電場下位錯移動的特點,包括釘扎-去釘扎現(xiàn)象,以及kink傳播過程。這個對比實驗揭示了電場下位錯移動性依賴位錯類型,以及位錯運(yùn)動的特點。

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圖2. 30° 部分位錯和90° 部分位錯在電場下的移動性對比研究。取決于于電場方向,30° 部分位錯(位錯B和D)可來回移動,但是90° 部分位錯(位錯A,C和E)在整個過程中沒有移動。

為了理解電場如何驅(qū)動位錯移動,他們表征了位錯核的原子結(jié)構(gòu),然后結(jié)合密度泛函理論計算分析了位錯核的電子結(jié)構(gòu)。圖3a展示了一個典型30° S位錯核的原子結(jié)構(gòu)。較亮的圓斑對應(yīng)的是Zn原子列,較暗的圓斑是S原子列。理論計算表明帶負(fù)電的30° S位錯比電中性狀態(tài)更加穩(wěn)定,因此實際樣品中的位錯很可能是帶電的,位錯核附近的電荷分布如圖3b所示。這種帶電位錯使得電場可以通過Coulomb相互作用來控制位錯運(yùn)動。圖3c展示了位錯滑移勢壘在帶電狀態(tài)以及在外加電場下的變化趨勢。他們也分析了ZnS中另外三種類型的位錯,發(fā)現(xiàn)電場都可以降低位錯的滑移勢壘,從而從能量角度解釋了電場控制位錯移動的機(jī)制。

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圖3. 位錯原子結(jié)構(gòu)以及滑移勢壘分析。(a)30° S位錯的原子結(jié)構(gòu)圖像。(b)外加負(fù)電荷在30° S位錯附近的分布。(c)位錯滑移勢壘在帶電狀態(tài)和電場下的變化趨勢。

這個工作實現(xiàn)了由純的電場控制的位錯運(yùn)動,不僅為非應(yīng)力場下位錯的可運(yùn)動性提供了直接的實驗證據(jù),也為調(diào)控位錯相關(guān)的晶體性質(zhì)提供了新的可能。然而需要指出,相比于應(yīng)力場下的位錯移動,非應(yīng)力場下的位錯移動研究還處于比較模糊的階段。為了更好地理解非應(yīng)力場下的位錯動力學(xué)特點,需要更多深入和系統(tǒng)的探索。希望這個工作可以為相關(guān)方面的研究提供一些參考。論文共同通訊作者為Qi An、高鵬、Penghao Xiao、Yu Zou。研究工作也得到了北京大學(xué)電子顯微鏡實驗室徐軍、馬秀梅、張敬民等老師在FIB制樣和TEM表征方面的幫助,以及北京大學(xué)物理學(xué)院凝聚態(tài)所葉堉副教授和谷平凡在電學(xué)測量方面的幫助。上述研究工作部分得到了國家重點研發(fā)計劃、國家自然科學(xué)基金、量子物質(zhì)科學(xué)協(xié)同創(chuàng)新中心、輕元素量子材料交叉平臺等支持。

安徽澤攸科技有限公司作為中國本土的精密儀器公司,是原位電子顯微鏡表征解決方案的一流供應(yīng)商,推出的PicoFemto?系列的原位透射電子顯微鏡表征解決方案,陸續(xù)為國內(nèi)外用戶的重磅研究成果提供了技術(shù)支持。下圖為本研究成果中用到的原位透射電鏡樣品桿的渲染圖:

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感謝各位用戶的一貫支持!特別感謝論文第一作者北京大學(xué)碩士畢業(yè)生、多倫多大學(xué)博士生李明強(qiáng)供稿。

安徽澤攸科技有限公司是一家具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的科學(xué)儀器公司, 自20世紀(jì)90年代開始投入電鏡及相關(guān)附件研發(fā)以來,研發(fā)團(tuán)隊一直致力于為納米科學(xué)研究提供優(yōu)秀的儀器。目前,公司有包括PicoFemto系列原位TEM測量系統(tǒng)、原位SEM測量系統(tǒng)、ZEM系列臺式掃描電鏡、JS系列臺階儀、納米位移臺、二維材料轉(zhuǎn)移臺探針臺及低溫系統(tǒng)、光柵尺等在內(nèi)的多個產(chǎn)品線,在國內(nèi)外均獲得了高度關(guān)注,填補(bǔ)了國家在科學(xué)精密儀器領(lǐng)域的諸多空白。


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