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WG-1271超精密減薄機(jī)品牌
中電科產(chǎn)地
北京樣本
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技術(shù)特點(diǎn)
●背面減薄到去除應(yīng)力一體化，縮短了加工以外的作業(yè)時(shí)間，可以穩(wěn)定地實(shí)施厚度在50μm以下晶圓的薄型化加工和傳輸。
●三主軸四工位全自動(dòng)減薄機(jī)，具備晶圓粗磨、精磨、拋光、傳輸、清洗、撕貼膜全自動(dòng)精密減薄工藝能力。第三軸可實(shí)現(xiàn)干式拋光加工/超精密研削加工（特殊選項(xiàng)）的多樣化應(yīng)用。
性能指標(biāo)
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