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WG-1281全自動(dòng)減薄機(jī)品牌
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技術(shù)特點(diǎn)
●使用 CCD 相機(jī)的非接觸式晶圓定心機(jī)構(gòu)，優(yōu)化加工點(diǎn)布局實(shí)現(xiàn)高精度磨削；自動(dòng)調(diào)整承片臺(tái)傾斜角，有效減少校正停機(jī)時(shí)間；
●雙主軸三工位全自動(dòng)減薄機(jī)，磨削時(shí)不對(duì)外圓周施加負(fù)荷，能有效降低晶圓翹曲，提高晶圓強(qiáng)度，降低碎片率，提高晶圓處理的便利性。具備 SECS/GEM 聯(lián)網(wǎng)功能。采用霧化噴嘴技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)強(qiáng)力清潔。
性能指標(biāo)
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