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鈣鈦礦太陽能電池磁控鍍膜設(shè)備JCPS400
鈣鈦礦太陽能電池磁控鍍膜設(shè)備JCPS400

參考價(jià)格

面議

型號

鈣鈦礦太陽能電池磁控鍍膜設(shè)備JCPS400

品牌

北京泰科諾

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
北京泰科諾科技有限公司

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設(shè)備名稱:鈣鈦礦太陽能電池磁控濺射設(shè)備(鍍膜機(jī)+手套箱復(fù)合型)
設(shè)備型號:JCPS400
鍍膜方式:磁控濺射
真空腔室結(jié)構(gòu):SUS304方箱式,配有前、后門
真空腔室尺寸:L400mm×W440mm×H450mm
加熱溫度:室溫~500℃
基片臺尺寸:抽屜式:120mm×120mm可旋轉(zhuǎn)、升降
膜厚不均勻性:≤±5.0%(100mmx100mm范圍內(nèi))
蒸發(fā)源/濺射靶:3/4 英寸靶:2-3只 DC/RF電源及偏壓電源
晶振膜厚監(jiān)控儀:國產(chǎn)或進(jìn)口(可選)
控制方式:PLC/PC控制(可選)
占地面積:L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
總功率:≥8kW 三相五線制

特點(diǎn)用途.jpg


1.國內(nèi)技術(shù)**、市場占有率**,設(shè)計(jì)優(yōu)化,性能穩(wěn)定,使用維護(hù)成本低;

2.適用于磁控濺射與手套箱環(huán)境有機(jī)融合,實(shí)現(xiàn)制備、封裝、測試等工藝無縫對接,廣泛用于鈣鈦礦太陽能電池 /OPV 有機(jī)太陽能電池及 OLED薄膜等研究系統(tǒng)等。

3.磁控主要是濺射氧化鎳,制備空穴層,濺射ITO制備透明電極,濺射Cu,制備背電極


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