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Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備
Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

Primo SSC AD-RIE?

品牌

中微公司

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司

高級(jí)會(huì)員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

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Primo SSC AD-RIE?是中微于2013年推出的單反應(yīng)臺(tái)電介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品,在Primo AD-RIE?產(chǎn)品技術(shù)和Primo平臺(tái)概念的基礎(chǔ)上,通過在一個(gè)平臺(tái)上集成六個(gè)單反應(yīng)臺(tái)以優(yōu)化產(chǎn)能。除了可獨(dú)立輸運(yùn)氣體的單反應(yīng)臺(tái)腔體設(shè)計(jì)以外,為應(yīng)對(duì)2x納米以下特別是接觸孔刻蝕等關(guān)鍵制程的挑戰(zhàn),該設(shè)備還具有以下特性:同步脈沖射頻系統(tǒng)、可冷卻聚焦環(huán)工藝組件和甚低壓氣體抽運(yùn)系統(tǒng)等。Primo SSC AD-RIE有利于處理多層薄膜刻蝕的微負(fù)載問題、極端邊緣形貌問題以及接觸孔刻蝕的終端控制問題。Primo SSC AD-RIE已在主流客戶16納米芯片生產(chǎn)線上穩(wěn)定量產(chǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

具有獨(dú)立氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的單反應(yīng)臺(tái)腔體設(shè)計(jì)

多區(qū)氣體調(diào)節(jié)以及雙區(qū)靜電吸盤溫度控制

高抽氣率,大容量分子泵

雙級(jí)同步脈沖射頻系統(tǒng)(低頻和高頻)

可冷卻聚焦環(huán)工藝組件,提升晶圓邊緣性能

高上下電極面積比,以應(yīng)用于高深寬比結(jié)構(gòu)刻蝕


競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

高電介質(zhì)材料刻蝕速率,多手段刻蝕均勻度調(diào)節(jié)

雙級(jí)同步脈沖射頻系統(tǒng)

先進(jìn)氣體抽運(yùn)系統(tǒng),以進(jìn)一步擴(kuò)大工藝窗口

中高深寬比結(jié)構(gòu)刻蝕的低成本解決方案


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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技術(shù)文章
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  • Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的工作原理介紹?
  • Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的使用方法?
  • Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備多少錢一臺(tái)?
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  • Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的操作規(guī)程有嗎?
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  • Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備包安裝嗎?
Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備信息由中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備報(bào)價(jià)、型號(hào)、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
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