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Preforma Uniflex? CW品牌
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作為中微公司自主研發(fā)的產出效率高且性能優(yōu)秀的12英寸CVD金屬鎢設備，Preforma Uniflex?CW可靈活配置多達五個雙反應臺的反應腔，每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓，在保證較低的生產成本和化學品消耗的同時，實現(xiàn)較高的生產效率。Preforma Uniflex?CW配備了完全擁有自主知識產權的優(yōu)化混氣方案,自主設計優(yōu)化的分氣抽氣系統(tǒng)和真空卡盤，具有優(yōu)秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調節(jié)靈活性，對于彎曲度較大的晶圓，它也具備良好的工藝處理能力。并且其優(yōu)異的階梯覆蓋率和填充能力，可以滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需求。
雙反應臺及多達五個反應腔的系統(tǒng)
獨立小巧的反應空間
高效靈活的工藝調節(jié)窗口
自主知識產權的優(yōu)化混氣方案
自主設計的優(yōu)化氣體分配的抽氣系統(tǒng)
自主設計的優(yōu)化真空卡盤的加熱臺
高生產效率，低生產成本，低化學品消耗 優(yōu)秀的薄膜均一性和填充能力 優(yōu)秀的工藝適應性和兼容性 對彎曲度較大的晶圓也具有良好的工藝處理能力競爭優(yōu)勢
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