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PRISMO A7? MOCVD設備品牌
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中微具有自主知識產權的MOCVD設備PRISMO A7?可配置多達4個反應腔，可以同時加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工藝能力還能延展到生長8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制，這一設計可以實現(xiàn)優(yōu)異的生產靈活性。
可獨立控制的反應腔運行模式
自主的實時監(jiān)控系統(tǒng)
精準的參數(shù)控制
全自動化處理
符合半導體標準的軟件控制系統(tǒng)
暫無數(shù)據！
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