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本設(shè)備用于處理半導(dǎo)體光伏面板等行業(yè)生產(chǎn)制程中都會(huì)產(chǎn)生的大量易燃劇毒有害氣體，廢氣通過真空管進(jìn)入設(shè)備后在反應(yīng)腔內(nèi)被分解成無害成分，經(jīng)過水淋和顆粒捕捉后能達(dá)到安全的排放標(biāo)準(zhǔn)。

本設(shè)備通過等離子發(fā)生器結(jié)合氮?dú)猱a(chǎn)生等離子火焰，該火焰能量集中，適合分解易燃易爆劇毒及溫室氣體。設(shè)備設(shè)計(jì)有專用的粉塵沖洗式反應(yīng)腔，有效防止腔體腐爛和堵塞。

產(chǎn)品特點(diǎn)

設(shè)備占地面積小、便于安裝

不需要燃?xì)獾然剂希▋H用氮?dú)猓?，減碳節(jié)能

SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半導(dǎo)體特氣處理效率高

開關(guān)機(jī)速度快，不需要長(zhǎng)時(shí)間等待加熱和散熱

安全性能好，靈活互備

競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)

自研發(fā)穩(wěn)定便于維護(hù)的火炬，縮短安裝時(shí)間

反應(yīng)腔采用粉塵沖洗設(shè)計(jì)

入口管采用新型防堵方案，PM周期長(zhǎng)

可根據(jù)客戶需求，提供定制化服務(wù)