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Primo Twin-Star? 12 英寸刻蝕設(shè)備品牌
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產(chǎn)品特點(diǎn)
雙反應(yīng)臺腔體設(shè)計
低電容耦合3D線圈設(shè)計
高抽速大容量渦輪泵
雙通道進(jìn)氣
精密的腔體溫控和RF窗口溫控系統(tǒng)
先進(jìn)的高致密性、耐等離子體侵蝕涂層工藝多區(qū)動態(tài)溫控靜電吸盤
13兆赫或400千赫脈沖偏壓系統(tǒng)
可選的集成除膠反應(yīng)腔
離子濃度和離子能量獨(dú)立可控
高排氣量和更寬的工藝窗口
優(yōu)秀的刻蝕均勻性
優(yōu)異的高深寬比刻蝕性能
高生產(chǎn)效率，低生產(chǎn)成本（CoO）
暫無數(shù)據(jù)！
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